在半导体晶圆制造领域，OHT（Overhead Hoist Transport）天车系统是自动化物料搬运系统（AMHS）的核心组成部分，而胶轮作为OHT天车的关键传动部件，直接决定晶圆搬运的稳定性与安全性。这款专为晶圆厂设计的OHT天车系统胶轮，针对FOUP（晶圆传送盒）搬运需求，具备无尘、防静电、低生热等核心特性，为300mm晶圆厂及先进制程产线提供高效可靠的空中物流解决方案，确保晶圆在高速转运过程中零污染、零损伤。
一、产品核心特点
这款OHT天车胶轮具备四大核心优势。首先是无尘设计，轮面材料经过特殊工艺处理，在高速运行过程中不会产生颗粒物脱落，完全满足半导体洁净室Class 100甚至更高标准的严苛要求。其次是优异的防静电性能，表面电阻率控制在10⁶至10⁹欧姆范围内，能够有效导走搬运过程中产生的静电，避免静电对精密晶圆造成损害。第三是低生热特性，采用低摩擦系数材料配方，在高速运行和频繁启停工况下发热量极低，防止热量传递影响洁净室温控环境。最后是低振动运行，确保晶圆在转运过程中免受微振动影响，满足先进制程对纳米级振动控制的要求。
二、轮子结构设计
胶轮采用多层复合结构设计，由高强度铝合金或不锈钢轮芯配合特种聚氨酯轮面组成。轮芯经过精密加工和动平衡校准，确保高速运行时的稳定性，可承受5m/s以上的运行速度。聚氨酯轮面采用半导体级洁净材料，添加抗静电剂和低生热配方，硬度控制在肖氏A70至A85之间，兼顾耐磨性与减震性能。轮芯与轮面采用高温硫化一体成型工艺，确保长期使用不脱胶、不开裂，使用寿命可达普通胶轮的3至5倍，同时运行静音，改善车间工作环境。
三、应用场景
这款OHT天车系统胶轮主要应用于半导体晶圆厂的空中物料搬运系统。典型使用场景包括300mm晶圆产线的FOUP自动转运，将晶圆盒从存储区运送至光刻、蚀刻、薄膜沉积等各加工设备；洁净室高架轨道系统，在天花板轨道上实现跨区域物料传输；先进制程产线，满足3nm及以下制程对微振动敏感度±0.1nm的严苛要求；以及7×24小时连续作业环境，可承受高频次启停和长期高负荷运行，为半导体制造全流程提供可靠的空中物流支撑。
随着半导体制造向更先进制程和更高自动化水平发展，OHT天车系统的性能直接影响晶圆厂的产能与良率。这款晶圆厂专用空中走行式无人搬运车轨道轮，凭借无尘、防静电、低生热的专业设计，为半导体"空中物流"提供高效、安全的传动解决方案，助力晶圆厂实现智能制造升级，是现代化半导体工厂自动化物料搬运系统的理想选择。