OHT天车行走轮是AMHS（自动化物料搬运系统）中用于OHT（Overhead Hoist Transport）天车的轨道行走核心组件，核心材质采用不锈钢轮芯与高纯度进口聚氨酯包胶层，专为半导体晶圆制造高洁净环境设计。OHT作为AMHS的关键子系统，负责晶圆在无尘车间内的垂直与水平精准运输，是实现晶圆厂自动化物流的核心环节。
一、产品特点
回弹减震：聚氨酯包胶回弹率>90%，有效吸收轨道震动，保护晶圆免受机械应力损伤。
高速精准：运行速度5–20m/min，定位精度±0.5mm，满足晶圆厂高节拍生产需求。
洁净等级：通过ISO Class 5认证，运行中颗粒脱落率≤0.1颗粒/100cm²，无静电吸附微粒。
耐久适配：轮芯经防静电处理（电阻10⁶–10⁹Ω），聚氨酯轮面添加导电剂，实现不掉渣、低摩擦生热（温升≤15℃）。
二、主要应用领域
晶圆光刻后转运：从光刻机到刻蚀机的晶圆载具（FOUP）无尘传输。
晶圆清洗与检测：在清洗站与测试设备间高精度移动晶圆载具。
晶圆存储库出入库：高密度WIP（Work in Process）存储库中晶圆的自动化存取。
晶圆制造全流程：覆盖前道（Front-End）工艺的全链条物料搬运。
洁净室设备对接：晶圆载具与设备端口的零间隙精准对位。
三、菲尔森在此方面的制造实力
菲尔森智能装备拥有10年OHT行走轮专业研发经验，通过ISO 9001与ISO 14644-1洁净环境认证，产品已批量应用于台积电、中芯国际等头部晶圆厂。公司配备10万级无尘车间生产线，实现轮子从不锈钢轮芯到聚氨酯包胶的全流程洁净制造，确保产品一致性（尺寸公差≤0.1mm）与可靠性（寿命≥5年），累计交付超20万套，故障率低于0.5%。
晶圆搬运小车减震轮以高回弹减震、精准定位与洁净级设计，为半导体晶圆制造提供零污染、高可靠性的自动化移动核心保障。